Skanska zakończyła budowę Laboratorium Mikrosystemów i Nanostruktur w Piasecznie. Prace o wartości 6,6 mln zł brutto wykonaliśmy na zlecenie Instytutu Technologii Elektronowej. Czas realizacji wyniósł 9 miesięcy.
W ramach inwestycji wykonaliśmy dwukondygnacyjny obiekt o powierzchni użytkowej 1200 m kw., połączony z istniejącym budynkiem laboratorium. We wnętrzu zrealizowaliśmy pomieszczenia laboratoryjne o klasie czystości powietrza 10 000 wg skali FS209D. Skala ta reguluje maksymalną dopuszczalną liczbę cząstek pyłków w m. sześć. powietrza. W pomieszczeniach tych zainstalowane są urządzenia technologiczne umożliwiające przeprowadzanie procesów niezbędnych do wytwarzania przyrządów ze związków półprzewodnikowych: fotolitografii, osadzania cienkich warstw, trawienia suchego i mokrego oraz wygrzewania, wykorzystywanych w procesach mikroelektroniki, optoelektroniki, fotoniki i mikrosystemów. W wybudowanym przez nas obiekcie znajdują się także pomieszczenia biurowe dla pracowników instytutu.
W ramach zleconych prac w nowym Laboratorium Mikrosystemów i Nanostruktur w Piasecznie zamontowaliśmy instalację wentylacji mechanicznej z regulacją temperatury oraz wilgotności. W pomieszczeniach laboratoryjnych zastosowaliśmy filtry absolutne. Mają one za zadanie trzystopniowe wyłapanie cząsteczek zanieczyszczeń mechanicznych. Oprócz typowych instalacji gazowych, wodno-kanalizacyjnych, elektrycznej i teletechnicznej w budynku powstały także nietypowe instalacje, tj.: instalacja gazów technologicznych suchego azotu, próżnia centralna i sprężonego powietrza oraz wody dejonizowanej. Będą one wykorzystywane przez tzw. digestoria, czyli oszklone komory laboratoryjne, z których za pomocą wentylatora lub naturalnego ciągu usuwane są szkodliwe gazy.
Obiekt laboratorium wykonany przez Skanska będzie wykorzystywany przez Zakład Technologii Mikrosystemów i Technologii Nanostruktur Krzemowych, który stanowi część Instytutu Technologii Elektronowej. Instytut jest czołowym polskim centrum badawczo-rozwojowym, skupiającym się na technologii i elektronice półprzewodnikowej.
- Misją Instytutu Technologii Elektronowej jest prowadzenie badań mających na celu komercjalizację innowacyjnych mikro - i nanotechnologii, a także ich zastosowanie w dziedzinie mikroelektroniki, optoelektroniki, fotoniki i mikrosystemów - mówi dr inż. Paweł Janus, pracownik Instytutu. - Celem badań jest zapewnienie komunikacji między przemysłem a nauką i dostępu przemysłu do zaawansowanych technologii krzemowych.
- Dzięki naszym detektorom badania międzynarodowego zespołu doprowadziły do eksperymentalnego potwierdzenia istnienia nowego pierwiastka o liczbie atomowej 112, nazwanego Copernicus. Tworzymy również mikrosystemy. Są to złożone przyrządy, wytwarzane przy użyciu procesów technologicznych opracowanych dla układów scalonych. Technologia krzemowa otwiera przed nami nowe możliwości, dzięki którym możemy realizować nawet najambitniejsze projekty. Tak było z ważnym dla chorych na jaskrę czujnikiem do pomiaru ciśnienia w gałce ocznej, będącym przedmiotem naszej współpracy z naukowcami z uniwersytetu w Szwajcarii - dodaje Paweł Janus.